AWM42300V सूखी गैस एनालॉग आउटपुट के लिए माइक्रोब्रिज गैस द्रव्यमान वायु प्रवाह सेंसर

उत्पाद का वर्णन:

AWM42300V सूखी गैस एनालॉग आउटपुट के लिए माइक्रोब्रिज गैस द्रव्यमान वायु प्रवाह सेंसर

विशेषताएं:

AWM40000 श्रृंखला गैस द्रव्यमान प्रवाह सेंसर, अप्रवर्धित (mV), प्रवाह/दबाव सीमाः ±1000 SCCM (1.0 SLPM);इंटरफेस प्रकार: मनिफोल्ड

परिचालन

माइक्रोब्रिज गैस द्रव्यमान प्रवाह सेंसर का सिद्धांत हीट ट्रांसफर है।गैस की द्रव्यमान प्रवाह दर सेंसर तत्व की सतह के माध्यम से निर्देशित किया जाता है।आउटपुट वोल्टेज पैकेज के इनपुट और आउटपुट के माध्यम से बहने वाली हवा या अन्य गैस के द्रव्यमान के आनुपातिक है।एक विशेष रूप से डिज़ाइन किया गया आवास सूक्ष्म-संरचित सेंसर तत्वों के माध्यम से वायु प्रवाह को अनुकूलित रूप से निर्देशित और नियंत्रित करता है।पैकेज को मैकेनिकल रूप से मुद्रित सर्किट बोर्ड पर आसानी से माउंट करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।

माइक्रोब्रिज गैस द्रव्यमान प्रवाह सेंसर में उन्नत सूक्ष्म संरचना प्रौद्योगिकी पर आधारित एक उन्नत सिलिकॉन चिप है।चिप में हीटर और तापमान सेंसर तत्व के साथ एक पतली फिल्म और एडियाबेटिक ब्रिज संरचना का उपयोग किया गया है।पुल संरचना चिप के माध्यम से बहने वाली हवा या अन्य गैसों के वायु प्रवाह के लिए तेजी से और संवेदनशीलता से प्रतिक्रिया कर सकती है।केंद्रीय हीटिंग तत्व के दोनों ओर दोहरे सेंसर तत्व भी प्रवाह की दिशा और दर को इंगित करते हैं।लेजर-सुधारित मोटी फिल्म और फिल्म प्रतिरोध सेंसर से सेंसर तक लगातार विनिमेयता सुनिश्चित करते हैं।

माइक्रोब्रिज गैस द्रव्यमान प्रवाह सेंसर सिलिकॉन नाइट्राइड फिल्मों में लिपटे थर्मल प्रतिरोध का उपयोग करते हैं।ये प्रतिरोधक सिलिकॉन चिप के उत्कीर्णन गुहा के ऊपर दो पुलों का गठन करते हुए निलंबित हैं।चिप को दोहराए जाने योग्य प्रवाह प्रतिक्रिया प्रदान करने के लिए *** आकार के वायु प्रवाह चैनल में रखा जाता है।प्रवाह संवेदक पुल के नीचे खोई को उत्कीर्ण करके हीटर और संवेदक प्रतिरोधक कुशल थर्मल इन्सुलेशन प्राप्त कर सकते हैं।माइक्रोब्रिज गैस द्रव्यमान प्रवाह सेंसर के छोटे आकार और थर्मल अलगाव कार्य अधिकतम गति प्रतिक्रिया और वायु प्रवाह के लिए उच्च संवेदनशीलता प्राप्त करते हैं।

व्हीटस्टोन ट्विन ब्रिज वायु प्रवाह माप को नियंत्रित करता है - एक बंद-लूप हीटर नियंत्रण प्रदान करता है और दूसरे में दोहरी सेंसर तत्व होते हैं।हीटर सर्किट द्रव्यमान प्रवाह दर के आनुपातिक आउटपुट प्रदान करके परिवेश तापमान परिवर्तनों के कारण उत्पन्न आउटपुट भिन्नता को कम करता है।यह सर्किट हीटर के तापमान को परिवेश के तापमान (160°C), जो चिप पर थर्मल प्रतिरोध माप से निर्धारित किया जाता है।उपकरण का आउटपुट आपूर्ति वोल्टेज के आनुपातिक है और यह भी Wheatstone पुल सर्किट के अंतर वोल्टेज के अनुरूप है।

विनिर्देश: