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उत्पाद विवरण:
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| प्रवाह / दबाव सीमा: | ±1000 एससीएम (1 एसएलपीएम) | पूरे तापमान रेंज में शून्य: | ± 0.20 एमवी डीसी |
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| repeatability: | ± 0.50% पढ़ना | प्रतिक्रिया समय: | विशिष्ट मूल्य 1 एमएस |
| प्रमुखता देना: | माइक्रो ब्रिज गैस मास फ्लो मीटर,AWM42300V गैस मास फ्लो मीटर,माइक्रो ब्रिज थर्मल मास फ्लो सेंसर |
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±1000sccm माइक्रो ब्रिज गैस मास फ्लो मीटर सेंसर AWM42300V
±1000ccm माइक्रो-ब्रिज गैस मास फ्लो सेंसर AWM42300V
विशेषताएँ:
माइक्रोब्रिज गैस मास फ्लो सेंसर सिलिकॉन नाइट्राइड की एक पतली फिल्म में लिपटे थर्मल प्रतिरोध का उपयोग करता है।इन प्रतिरोधों को निलंबित कर दिया जाता है और सिलिकॉन वेफर की नक़्क़ाशी गुहा पर दो पुलों का निर्माण होता है।चिप को दोहराने योग्य प्रवाह प्रतिक्रिया प्रदान करने के लिए सर्वश्रेष्ठ विनिर्देश एयरफ्लो चैनल में रखा गया है।फ्लो सेंसिंग ब्रिज के नीचे कैविटी नक़्क़ाशी करके, हीटर और सेंसिंग रेसिस्टर कुशल थर्मल आइसोलेशन प्राप्त करते हैं।माइक्रो-ब्रिज गैस मास फ्लो सेंसर का छोटा आकार और थर्मल आइसोलेशन फंक्शन एयरफ्लो के लिए तेजी से प्रतिक्रिया और उच्च संवेदनशीलता प्राप्त करता है।
व्हीटस्टोन ट्विन-ब्रिज कंट्रोल एयरफ्लो मेजरमेंट - एक क्लोज्ड-लूप हीटर कंट्रोल प्रदान करता है, दूसरे में डुअल सेंसिंग एलिमेंट्स होते हैं।बड़े पैमाने पर प्रवाह दर के लिए आनुपातिक उत्पादन प्रदान करके हीटर सर्किट परिवेश के तापमान भिन्नता के कारण आउटपुट भिन्नता को कम करता है।यह सर्किट हीटर के तापमान को परिवेश के तापमान (160 डिग्री सेल्सियस) से ऊपर एक स्थिर तापमान अंतर पर बनाए रखता है, जिसे चिप पर थर्मल प्रतिरोध द्वारा मापा जाता है।डिवाइस का आउटपुट आपूर्ति वोल्टेज के समानुपाती होता है और व्हीटस्टोन ब्रिज सर्किट के डिफरेंशियल वोल्टेज से भी मेल खाता है।
एसनिर्दिष्टीकरण:
| इंटरफ़ेस प्रकार | कई गुना |
| बिजली की खपत | 60 मेगावाट |
| मध्यम अनुकूलता | केवल सूखी गैस |
| मुआवजा तापमान सीमा | -25°C से 85°C [-13°F से 185°F] |
व्यक्ति से संपर्क करें: Xu
दूरभाष: 86+13352990255
