AWM42300V गैस द्रव्यमान प्रवाह मीटर सेंसर ±1000sccm माइक्रो ब्रिज

AWM42300V गैस द्रव्यमान प्रवाह मीटर सेंसर ±1000sccm माइक्रो ब्रिज

विशेषताएं:

माइक्रोब्रिज गैस द्रव्यमान प्रवाह सेंसर सिलिकॉन नाइट्राइड की एक पतली फिल्म में लिपटे थर्मल प्रतिरोध का उपयोग करता है। ये प्रतिरोध निलंबित होते हैं और सिलिकॉन वेफर की उत्कीर्णन गुहा पर दो पुल बनाते हैं.चिप सबसे अच्छा विनिर्देश हवा प्रवाह चैनल में रखा जाता है दोहराया प्रवाह प्रतिक्रिया प्रदान करने के लिए। प्रवाह सेंसर पुल के नीचे गुहा उत्कीर्ण करके,हीटर और सेंसर प्रतिरोध कुशल थर्मल इन्सुलेशन प्राप्तमाइक्रो-ब्रिज गैस द्रव्यमान प्रवाह सेंसर का छोटा आकार और थर्मल अलगाव कार्य वायु प्रवाह के लिए तेजी से प्रतिक्रिया और उच्च संवेदनशीलता प्राप्त करता है।

व्हीटस्टोन ट्विन-ब्रिज नियंत्रण वायु प्रवाह माप - एक बंद-लूप हीटर नियंत्रण प्रदान करता है, दूसरे में दोहरी सेंसर तत्व होते हैं।हीटर सर्किट द्रव्यमान प्रवाह दर के आनुपातिक एक आउटपुट प्रदान करके परिवेश तापमान परिवर्तन के कारण आउटपुट भिन्नता को कम करता हैयह सर्किट हीटर के तापमान को परिवेश के तापमान (160 °C) से ऊपर निरंतर तापमान अंतर पर बनाए रखता है, जिसे चिप पर थर्मल प्रतिरोध द्वारा मापा जाता है।डिवाइस के आउटपुट आपूर्ति वोल्टेज के लिए आनुपातिक है और यह भी Wheatstone पुल सर्किट के अंतर वोल्टेज के अनुरूप है.

एसविनिर्देश: