YJJ AS200 स्टेनलेस स्टील MFC उच्च-सटीक गैस मास फ्लो कंट्रोलर एयर माइक्रो-गैस फ्लो मीटर

उत्पाद विवरण:

YJJ AS200 स्टेनलेस स्टील MFC उच्च-सटीक गैस मास फ्लो कंट्रोलर एयर माइक्रो-गैस फ्लो मीटर

विशेषताएं:

AS200 सीरीज गैस मास फ्लो कंट्रोलर

शक्तिशाली मुफ्त क्लाइंट-आधारित ऊपरी कंप्यूटर सॉफ्टवेयर प्रदान करता है

AS200 सीरीज गैस मास फ्लो कंट्रोलर विभिन्न पारंपरिक गैसों के लिए उपयुक्त है, जो गैस मास फ्लो कंट्रोल माप परिणामों की सटीकता और विश्वसनीयता में सुधार करता है। दोहराव सटीकता 0.2% F.S. तक है;

1x10-0 Pa·m3/sec He का कम रिसाव दर, अच्छी वायु जकड़न, उत्पादन सुरक्षा सुनिश्चित करता है; यह डिजिटल सिग्नल, 1-5V एनालॉग सिग्नल और 4-20mA एनालॉग सिग्नल सहित कई सिग्नल आउटपुट का समर्थन कर सकता है, जो विभिन्न कार्य परिदृश्यों के लिए उपयुक्त एकल बिजली आपूर्ति (+15~+28VDC) का उपयोग कर सकता है; मानक ओपन कम्युनिकेशन प्रोटोकॉल ग्राहकों को स्वतंत्र रूप से नियंत्रण और अधिग्रहण सॉफ्टवेयर विकसित करने की सुविधा प्रदान करता है; साथ ही, उत्पाद शक्तिशाली मुफ्त क्लाइंट-आधारित ऊपरी कंप्यूटर सॉफ्टवेयर भी प्रदान करता है, जो उपयोगकर्ता डिबगिंग और संचालन की सुविधा प्रदान करता है।

AS200 सीरीज उत्पादों को Aosong Electronics द्वारा उन्नत MEMS तकनीक का उपयोग करके विकसित किया गया है। सेंसर ड्राइव, शून्य बहाव नियंत्रण और वाल्व नियंत्रण जैसे कई पहलुओं में, उत्पादों के उच्च प्रदर्शन, उच्च गुणवत्ता और उच्च विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए मुख्य तकनीकों को अपनाया गया है। यह अच्छी स्थिरता, उच्च सटीकता, कम रिसाव दर और उच्च दबाव प्रतिरोध वाला एक उच्च-गुणवत्ता वाला उपकरण है।

AS200 सीरीज गैस मास फ्लो कंट्रोलर (MFC) का उपयोग मुख्य रूप से गैस मास फ्लो के सटीक नियंत्रण और माप के लिए किया जाता है। AS200 विभिन्न क्षेत्रों जैसे कि सेमीकंडक्टर इंटीग्रेटेड सर्किट तकनीक, विशेष सामग्री, रासायनिक उद्योग, पेट्रोलियम उद्योग, चिकित्सा, पर्यावरण संरक्षण और वैक्यूम में अनुसंधान और उत्पादन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। इसके विशिष्ट अनुप्रयोग परिदृश्यों में शामिल हैं: एकीकृत सर्किट प्रक्रिया उपकरण, जैसे एपिटैक्सी, प्रसार, प्लाज्मा नक़्क़ाशी, स्पटरिंग, आयन इम्प्लांटेशन और विभिन्न CVD उपकरण; अन्य उद्योग उपकरण, जैसे ऑप्टिकल फाइबर पिघलना, माइक्रो रिएक्शन डिवाइस, गैस मिश्रण और गैस वितरण सिस्टम, गैस नमूनाकरण डिवाइस, केशिका माप उपकरण, गैस क्रोमैटोग्राफ और अन्य विश्लेषणात्मक उपकरण।

गैस मास फ्लो कंट्रोलर

बिजली आपूर्ति: 15 - 24V DC (सिंगल पोल)

माप सीमा: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/min

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0.5 - 50 SLM/min

दोहराव सटीकता: पूर्ण पैमाने का ±0.2%

प्रतिक्रिया समय: 1 सेकंड

ऑपरेटिंग वातावरण: 5 - 45℃

आकार: 112.8 * 38 * 115 मिमी

विशेष विवरण: