प्रवाह सीमा:0 ~ 2000 ... 6000
सटीकता:± (2.0+0.5fs)%
टर्नडाउन अनुपात:> 100: 1
के साथ प्रयोग के लिए:सूखी गैस
रेंज:+/- 200 सेमी/मिनट
सटीकता:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
शून्य-बिंदु आउटपुट बहाव:+30 एम.वी.
आउटपुट बहाव:+0.12 %/oc
काम कर रहे बिजली की आपूर्ति:8-18vdc, 100ma
पथ (एन):2.3। 4। 5
प्रवाह दर:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
रेंज अनुपात:100:1
सटीकता:± (1.5 + 0.2 * fs) %
दुहराव:0.75 %
शून्य-बिंदु आउटपुट बहाव:± 30 एमवी
सटीकता:± (1.5 + 0.2 * fs) %
दुहराव:0.75 %
शून्य-बिंदु आउटपुट बहाव:± 30 एमवी
पोर्ट आकार:5.08 मिमी
छिलके की सामग्री:सिलिकॉन
अधिकतम ऑपरेटिंग तापमान:+ 85 °C
माप की सटीकता:1.5
प्रवाह सीमा:0-800L
काम का दबाव:1 एमपीए
मॉडल संख्या:MF5619
सिद्धांत:द्रव्यमान प्रवाहमीटर
नॉमिनल डायामीटर:19 मिमी
पुनरावृत्ति:±0.25% एफएस
प्रतिक्रिया समय:10 एमएस (डिफ़ॉल्ट, सॉफ्टवेयर के माध्यम से 1000 एमएस तक समायोज्य)
दबाव रेटिंग:2 एमपीए (290 पीएसआई) अधिकतम परिचालन दबाव
सटीकता:± (रीडिंग का 1.5% + 0.2% पूर्ण पैमाने पर)
पुनरावृत्ति:±0.25% एफएस
प्रतिक्रिया समय:10 एमएस (डिफ़ॉल्ट, सॉफ्टवेयर के माध्यम से 1000 एमएस तक समायोज्य)