Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
शक्ति:11.4 ~ 25.2V
रेंज:0.5 ~ 10,1.8 ~ 32,5 ~ 85,9 ~ 150L/मिनट
सटीकता पूर्ण सीमा:x% 1% (<50% रेंज)
प्रवाह सीमा:0 ~ 2000 ... 6000
सटीकता:± (2.0+0.5fs)%
टर्नडाउन अनुपात:> 100: 1
के साथ प्रयोग के लिए:सूखी गैस
रेंज:+/- 200 सेमी/मिनट
सटीकता:0.35 %
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
शून्य-बिंदु आउटपुट बहाव:+30 एम.वी.
आउटपुट बहाव:+0.12 %/oc
काम कर रहे बिजली की आपूर्ति:8-18vdc, 100ma
पथ (एन):2.3। 4। 5
प्रवाह दर:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
रेंज अनुपात:100:1
